简答题 生长直拉硅单晶用的多晶硅原料，大多数是用硅芯、钼丝或钽管作发热体生长的，分别介绍各种发热体的生产多晶硅料的特点？

【参考答案】

硅芯作发热体生长的多晶硅，破碎或者截成段后，经过清洁处理就可以作为拉制硅单晶的原料；
钽管作发热体生长的多晶硅，必须首先用“王水”把钽管和钽硅合金腐蚀干净，再破碎或截段后进行清洁处理，方可作为拉制单晶硅的原料；
钼丝作发热体生长的多晶硅处理比较复杂，首先将多晶破碎，然后用砂轮将多晶硅......

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