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问答题

简答题 多晶硅、石英坩埚、籽晶、母合金等在生产、加工、运输储存过程中被沾污,会被空气中的油、水蒸汽、尘埃沾污,请描述如何清洁处理被污染的多晶硅、石英坩埚、籽晶、母合金等?

【参考答案】

对于多晶硅、籽晶、母合金上的油污光用丙酮或苯去掉,石英坩埚表面的沾污用洗涤剂或肥皂清洗,然后进行清洁处理,多晶硅、母合金、籽晶一般用硝酸、氢氟酸腐蚀,腐蚀多晶硅、籽晶、母合金过程中,把握好冲洗时机是非常重要的,当腐蚀液中冒出大量黄烟时,化学反应最激烈,再稍等片刻,则用大量高纯水冲,冲时不能使多晶硅溶......

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