简答题 CVD化学气相沉积法反应步骤可区分为几个步骤？

【参考答案】

（1）不同成份气相前置反应物由主流气体进来，以扩散机制传输基板表面。理想状况下，前置物在基板上的浓度是零，亦即在基板上立刻反应，实际上并非如此。
（2）前置反应物吸附在基板上，此时仍容许该前置物在基板上进行有限程度的表面横向移动。
（3）前置物在基板上进行化学反应，产生沉积物的化......

(↓↓↓ 点击‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)