简答题 蒸镀的加热方式包括几种？各具有何特点？

【参考答案】

加热方式分为：电阻加热、感应加热、电子束加热、雷射加热、电弧加热
各具有的特点：
（1）电阻加热：这是一种最简单的加热方法，设备便宜、操作容易是其优点。
（2）感应加热：加热效率佳，升温快速，并可加热大容量。
（3）电子束加热：这种加热方法是把数千eV之高能量......

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