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问答题

简答题 常用的真空泵浦有几种?适用的抽气范围为何?

【参考答案】

真空泵浦可分:
(1)机械帮浦
(2)扩散泵浦
(3)涡轮泵浦
(4)吸附泵浦
(5)吸着泵浦