填空题炉体由炉底座、炉膛、炉顶盖、副室、（）、（）、光学图像等直径监测器等部件组成。
填空题直拉单晶炉型式尽管不同，总的说来，主要由炉体、电气控制部分、（）、（）、（）五大部分组成。
填空题为了提高直拉硅单晶生产中原材料利用率，降低生产成本，与之相对应的必然是石英坩埚（），直拉单晶炉设备（）。
填空题为了提高直拉硅单晶生产中原材料利用率，降低生产成本，确保器件参数的一致性，单晶的（）势在必行。
填空题（）仍是生产硅单晶的主要方法，它工艺成熟，便于控制（）和（），容易拉制大直径无位错单晶，尤其能制备10-4欧姆•厘米级特殊单晶。
