判断题形成接触孔之前,需要先淀积一层PSG或BPSG材料,然后再该层材料上刻蚀出窗口作为接触孔。
判断题CMOS是由PMOS和NMOS构成,制作时可以是P阱结构,还可以是N阱结构,更可以是双阱结构。
判断题MOS管的制作一般经过阱区制作、有源区光刻、栅氧淀积、栅的淀积和光刻、源漏注入、接触孔光刻、金属淀积及反刻、钝化等工艺。
判断题当掩模版上的图形转移到下方薄膜材料上时,必须要考虑到光刻胶的性质(正胶还是负胶)。
判断题如果掩模版上绝大多数部分是不透光的区域,只有很少一部分透光,这种掩模版称为亮场掩模版。