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单项选择题

P5000设备气态源制备SIN工艺中参与反应的气体是（）……

P5000设备气态源制备SIN工艺中参与反应的气体是（）

A.SiH₄、O₂
B.SiH₄、NH₃
C.SiH₄、N₂O
D.SiH₄、N₂

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