论述题 简述常规热氧化办法制备SiO₂介质薄膜的动力学过程，并说明在什么情况下氧化过程由反应控制或扩散控制。

【参考答案】

迪尔-格罗夫氧化模型可以很好地预测氧化层厚度，热氧化过程主要分为以下三个过程：（1）氧化剂从气体内部以扩散形式穿过滞留层运动到气体-SiO₂界面，其流密度用J1表示。（2）氧化剂以扩散方式穿过SiO₂层，到达SiO₂-Si界面，其流密......

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