问答题

简答题简述CVD热力学分析的主要目的。

【参考答案】

CVD热力学分析的主要目的是预测某些特定条件下某些CVD反应的可行性（化学反应的方向和限度）。在温度、压强和反应物浓度给定的条件下，热力学计算能从理论上给出沉积薄膜的量和所有气体的分压，但是不能给出沉积速率。热力学分析可作为确定CVD工艺参数的参考

<上一题目录下一题>

热门试题

问答题简述离子镀膜技术的分类。

问答题简述离子镀膜系统工作的必要条件。

问答题简述溅射的概念及溅射参数？

问答题简述射频辉光放电的特点？

问答题简述正常辉光放电和异常辉光放电的特征？

简答题 简述CVD热力学分析的主要目的。