问答题说明影响氧化速率的因素。
问答题简述常规热氧化办法制备SiO2介质薄膜的动力学过程,并说明在什么情况下氧化过程由反应控制或扩散控制。
问答题简述杂质在SiO2的存在形式及如何调节SiO2的物理性质。
问答题以P2O2为例说明SiO2的掩蔽过程。
问答题说明SiO2的结构和性质,并简述结晶型SiO2和无定形SiO2的区别。