问答题试说明氧化层在硅工艺中的四种主要用途及主要原因，并举例说明各种用途的主要目的。
问答题列出氧化硅的五种主要物理参数，并说明实际中如何测试氧化层厚度。
问答题试说明热氧化反应为什么发生在Si—SiO2界面上，以及这种反应机制有何好处？
问答题氧化工艺产生的SiO2为何种类型？并说明其结构对其强度和密度的影响。
问答题试说明按结构分类的二氧化硅的基本类型且各举一例，并说明各种类型的主要结构特点。
