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问答题

简答题 什么是表面钝化？它的主要作用是什么？当前CMOS工艺中最典型的表面钝化层采用何种材料？

【参考答案】

表面钝化作用：热生长的SiO2的一个化学特性是：通过束缚硅的悬挂键来降低它的表面态密度，这种效果称为表面钝化。
主要作用：
有助于提高器件的稳定性和可靠性：可将硅表面的沾污禁锢在SiO2膜中；
有利于控制器件的漏电流和产生稳定......

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