填空题化学抛光利用（）反应，凸出部分的氧化膜更厚其溶解速度（）凹陷处的溶解速度，从而使得加工表面逐渐均平并光亮化。
填空题光化学加工透明胶片的制作可以有两种方法来完成，即（）和（）。
填空题化学加工采用（）制备掩膜，不仅将涂覆和刻划两道工序合二为一，而且可以做到更加细密。
填空题光化学腐蚀制备掩膜采用（）受到光照射而凝固，不受光的部分仍然为液态，这实质上是将化学加工常规制备掩膜时的（）和（）两道工序合二为一。
填空题光化学腐蚀也叫（）。
