填空题光化学加工透明胶片的制作可以有两种方法来完成,即()和()。
填空题化学加工采用()制备掩膜,不仅将涂覆和刻划两道工序合二为一,而且可以做到更加细密。
填空题光化学腐蚀制备掩膜采用()受到光照射而凝固,不受光的部分仍然为液态,这实质上是将化学加工常规制备掩膜时的()和()两道工序合二为一。
填空题光化学腐蚀也叫()。
填空题过切量与腐蚀深度之比值称为()。