填空题化学加工采用（）制备掩膜，不仅将涂覆和刻划两道工序合二为一，而且可以做到更加细密。
填空题光化学腐蚀制备掩膜采用（）受到光照射而凝固，不受光的部分仍然为液态，这实质上是将化学加工常规制备掩膜时的（）和（）两道工序合二为一。
填空题光化学腐蚀也叫（）。
填空题过切量与腐蚀深度之比值称为（）。
填空题化学铣削时采用的抗腐蚀的涂层叫做（）。
