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填空题

光化学腐蚀制备掩膜采用()受到光照射而凝固,不受光的部分仍然为液态,这实质上是将化学加工常规制备掩膜时的()和()两道工序合二为一。

【参考答案】

光敏树脂等感光材料;掩膜涂覆;刻划
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