简答题 简述在芯片制造中对金属电极材料有什么要求？

【参考答案】

1、能很好的阻挡材料扩散；
2、高电导率，低欧姆接触电阻；
3、在半导体和金属之间有很好的附着能力；
4、抗电迁能力强；
5、在很薄和高温下具有很好的稳定性；
6、抗侵蚀和抗氧化性好。
7、具有高的导电率和纯度。
8、与下层存底（......

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