晶向偏离度总厚度误差，平衡度，翘曲度等
问答题什么叫晶体缺陷？
单项选择题pn结的击穿电压和反向漏电流既是晶体管的重要直流参数，也是评价（）的重要标志。
A.扩散层质量 B.设计 C.光刻
单项选择题器件的横向尺寸控制几乎全由（）来实现。
A.掩膜版 B.扩散 C.光刻
单项选择题反应离子腐蚀是（）。
A.化学刻蚀机理 B.物理刻蚀机理 C.物理的溅射刻蚀和化学的反应刻蚀相结合
单项选择题恒定表面源扩散的杂质分布在数学上称为（）分布。
A.高斯 B.余误差 C.指数
