填空题为了提高直拉硅单晶生产中原材料利用率,降低生产成本,与之相对应的必然是石英坩埚(),直拉单晶炉设备()。
填空题为了提高直拉硅单晶生产中原材料利用率,降低生产成本,确保器件参数的一致性,单晶的()势在必行。
填空题()仍是生产硅单晶的主要方法,它工艺成熟,便于控制()和(),容易拉制大直径无位错单晶,尤其能制备10-4欧姆•厘米级特殊单晶。
填空题硅单晶的生产方法以直拉法和区熔法为主,其他方法有极少少量应用,世界硅单晶产量,其中70~80%是()生产,20~30%是()生产的。
填空题用外延法生长单晶,有()和()两种方法。