A.成本低.B.简便的操作C.应用简单工业机器人在装配行业应用的优势主要体现在，一是竞争优势，二是（），三是灵……

单项选择题套简滚子链接头采用大链节为开口销式，小链节用卡簧式，其链节为（）。

A.任意节数
B.偶数节
C.奇数节
D.自然数节

多项选择题ULVAC 的RF 电源使用的高频是（）。

A.12.5Mhz
B.30Mhz
C.13.56Mhz
D.27.12Mhz

多项选择题检漏仪里标准漏孔的作用是（）。

A.灵敏度校正
B.检漏仪性能确认
C.压力确认
D.漏率检测

多项选择题RF 电源适用的设备是（）。

A.CVD
B.EtChing
C.Ashing
D.Cleaning

多项选择题RF电源故障解析：同一个腔体内若有多个RF电源运行时会发生哪些异常（）？

A.放电不稳定
B.匹配不稳定
C.Pr 残存
D.成膜慢