RF电源故障解析：同一个腔体内若有多个RF电源运行时会发生哪些异常（）？

多项选择题下列可适用于sputter 设备的电源都有（）。

A.RF 电源
B.DC 电源
C.MF 电源
D.EB 电源

多项选择题下列属于热阴极电离真空计的是（）。

A.ST 系列
B.SH 系列
C.SW 系列
D.SP 系列

多项选择题EnDpointDeteCtion 方法有（）。

A.原子分子发射光谱
B.吸收光谱
C.光干涉
D.目视观察

多项选择题检漏仪分析管的离子源作用有（）。

A.电离气体分子
B.接受气体离子
C.给电离子加速
D.测试气体离子

多项选择题分子泵的控制器和泵体集成化以后有哪些优点（）？

A.部品（配线和线架）可削减
B.配线整理作业可削减
C.指定配线等的管理工数部品在库数可削减
D.不只是设备侧的远程控制、也可进行本地操作