RF 电源适用的设备是（）。

多项选择题RF电源故障解析：同一个腔体内若有多个RF电源运行时会发生哪些异常（）？

A.放电不稳定
B.匹配不稳定
C.Pr 残存
D.成膜慢

多项选择题下列可适用于sputter 设备的电源都有（）。

A.RF 电源
B.DC 电源
C.MF 电源
D.EB 电源

多项选择题下列属于热阴极电离真空计的是（）。

A.ST 系列
B.SH 系列
C.SW 系列
D.SP 系列

多项选择题EnDpointDeteCtion 方法有（）。

A.原子分子发射光谱
B.吸收光谱
C.光干涉
D.目视观察

多项选择题检漏仪分析管的离子源作用有（）。

A.电离气体分子
B.接受气体离子
C.给电离子加速
D.测试气体离子