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多项选择题

ULVAC 的RF 电源使用的高频是（）。

A.12.5Mhz
B.30Mhz
C.13.56Mhz
D.27.12Mhz

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B.检漏仪性能确认
C.压力确认
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A.CVD
B.EtChing
C.Ashing
D.Cleaning