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问答题

简答题 什么叫做分子束外延？什么叫做同质外延？什么叫做异质外延？

【参考答案】

在超高真空中（气压<10-6Pa），通过精确控制各组分元素的分子束流，喷射到一定温度的基片表面，并在基片表面实现薄膜与基片的共格外延生长。
若外延层与基片为同种材料，则称为同质外延，如在单晶硅上的硅外延层等；若外延层与基片为不同材料，则称为异质外延，如蓝宝石上外延硅层等。

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