问答题

简答题物理气相沉积（PVD）按沉积薄膜气相物质的生成方式和特征主要可以分为哪几种？

【参考答案】

（1）真空蒸镀--镀材以热蒸发原子或分子的形式沉积成膜。
（2）溅射镀膜--镀材以溅射原子或分子的形式沉积成膜。
（3）离子镀膜--镀材以离子和高能量的原子或分子的形式沉积成膜。
在三种PVD基本镀膜方法中，气相原子、分子和离子所产生的方式和具有的能量各不相同，由此衍生出种类繁多的薄膜制备技术。

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