问答题

简答题辉光放电的原理与应用是什么？

【参考答案】

在真空室内安置两个电极，阴极为冷电极，通入压强为0.1Pa-10Pa的气体（通常为Ar）。当外加直流高压超过着火电压（起始放电电压）时，气体就被击穿，由绝缘体变成良好导体，两极间电流突然上升，电压下降，此时两极间会出现明暗相间的光层。这种气体的放电称为辉光放电，放电产生等离子体。
溅射所需要的轰击离子通常采用辉光放电获得。

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