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问答题

简答题 二极直流溅射镀膜法的优点和缺点是什么？

【参考答案】

二极直流溅射镀膜法的优点：
装置简单，操作方便；
可以在大面积的基片上制取均匀的薄膜；
可以溅射难熔材料。
二极直流溅射镀膜法的缺点：
这种方法存在镀膜沉积速率低，只能溅射金属等导电材料等缺点；
未经改进的二极直流溅射仅在实验室内使用，很少用于生产；<...

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