填空题用外延法生长单晶,有()和()两种方法。
填空题铸锭法生长硅单晶虽然()简单,()快,()低,但是生长单晶质量差。一般用于制造太阳能电池器件。
填空题气相生长法()简单,污染少,单晶纯度较高,但是(),生长条件不易控制,生长的单晶质量较差。
填空题气相法生长单晶和用氢还原生长多晶相似。在适当温度下,()和氢气作用,在()上逐渐生长出单晶。
填空题基座法是既像()又像()的一种拉制单晶方法,此方法用卡具将多晶棒下端卡住,高频线圈在多晶硅棒上端产生熔区,由上方插入籽晶,将籽晶慢慢向上提起,生长出单晶。