SPT部门日常PM中不属于的一项是（）

单项选择题Gate Layer组成是（）

A.Ti Layer
B.Cu Layer
C.Ti+Cu Layer
D.IZO Layer

单项选择题8.5Line SPT设备使用的Target形状是（）

A.平板型
B.圆盘型
C.圆柱型
D.球型

单项选择题PI前清洗机内没有的步骤是（）

A.Chemical
B.BRUSH
C.AK
D.UV

单项选择题请问当前PHOTO工程在TFT基板上的PATTERN制作是几MASK工艺（）

A.3MASK
B.4MASK
C.5MASK
D.6MASK

单项选择题Develop工艺采用的化学药品是（）

A.20%TMAH
B.38%TMAH
C.0.4%TMAH
D.DI Water