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单项选择题

A.溅射物理气相沉积B.蒸发物理气相沉积C.等离子增强化学气相沉积D.低压化学气相沉积集成电路生产中,金属薄膜……

集成电路生产中,金属薄膜的沉积通常采用()

A.溅射物理气相沉积
B.蒸发物理气相沉积
C.等离子增强化学气相沉积
D.低压化学气相沉积

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