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多项选择题

IC采用铝互连系统时,下列哪种方法可以避免Al-Si的尖楔现象()

A.在淀积的铝膜中掺入约1%Si
B.在淀积的铝膜中掺入约1%Cu
C.在铝膜表面覆盖Si3N4
D.在淀积铝之前先淀积一薄层TiN薄膜