A.离子源B.磁分析器C.加速管D.终端系统
单项选择题利用高温驱动杂质渗透进半导体内，此工序采用的设备是（）
A.扩散炉B.离子注入机C.加热平板D.对流烘箱
单项选择题电子束蒸发中有一个特殊的部件是（）
A.电阻丝B.电子束C.电子枪D.石墨
单项选择题通常钽、钴、镍等难溶金属应用于（）
A.金属连线B.填充塞C.焊接层D.阻挡层
单项选择题解决金属铝与衬底之间肖特基接触的方法有（）。
A.阻挡金属B.铝铜合金C.铝硅合金D.重掺杂
多项选择题微电子领域内，下列测厚仪中属于有台阶的测厚仪为（）。
A.台阶仪 B.干涉显微镜 C.光切显微镜 D.扫描电镜 E.椭偏仪
