电子束蒸发中有一个特殊的部件是（）

单项选择题通常钽、钴、镍等难溶金属应用于（）

A.金属连线
B.填充塞
C.焊接层
D.阻挡层

单项选择题解决金属铝与衬底之间肖特基接触的方法有（）。

A.阻挡金属
B.铝铜合金
C.铝硅合金
D.重掺杂

多项选择题微电子领域内，下列测厚仪中属于有台阶的测厚仪为（）。

A.台阶仪
B.干涉显微镜
C.光切显微镜
D.扫描电镜
E.椭偏仪

单项选择题电气测量仪表中，整流式对电流的种类与频率的适用范围是（）。

A.直流
B.工频及较高频率的交流
C.直流及工频交流
D.直流及工频与较高频率的交流

多项选择题电气测量仪表若按照电流的种类来分，有（）。

A.低压仪表
B.高压仪表
C.直流仪表
D.交流仪表
E.交直流仪表