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问答题

简答题叙述H₂还原SiCl₄外延的原理，写出化学方程式。

【参考答案】

在气相外延生长过程中，首先是反应剂输运到衬底表面；接着是它在衬底便面发生反应释放出硅原子，硅原子按衬底晶向成核，长大成为单晶层。化学方程式如下：

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