问答题操作人员的质量职责是什么？
问答题衬底清洗过程包括哪几个步骤？
填空题工艺人员完成工艺操作后要认真、及时填写工艺记录，做到记录内容详细、（）、（）、书写工整、（）。
填空题光刻工艺一般都要经过涂胶、（）、曝光、（）、坚膜、腐蚀、（）等步骤。
填空题腐蚀V形槽一般采用（）的湿法化学腐蚀方法。
