精密和超精密磨料加工分为（）加工和（）加工两大类。

填空题金刚石刀具在超精密切削时所产生的积屑瘤，将影响加工零件的（）和（）。

填空题常用的超声变幅杆有（）、（）及（）三种形式。

填空题激光加工设备主要包括电源、（）、（）、（）、（）、冷却系统等部分。

填空题实现超精密加工的技术支撑条件主要包括：（）、（）、（）、（）、高质量的工件材料、超稳定的加工环境条件等。

填空题电火花型腔加工的工艺方法有：（）、（）、（）、简单电极数控创成法等。

填空题电火花加工按工件和工具电极相对运动的关系可分为：电火花（）、电火花（）、电火花（）、电火花（）、电火花表面强化和刻字等类型。

填空题影响电火花加工精度的主要因素有：（）及其一致性、（）及其稳定性和（）。

填空题电火花加工型腔工具电极常用的材料有：（）、（）、（）等。

填空题实现超精密加工的关键是（），对刀具性能的要求是：（）、（）、刀刃无缺陷、与工件材料的抗粘接性好，摩擦系数低。

填空题超声波加工主要是利用（）作用来去除材料的，同时产生的液压冲击和空化现象也加速了蚀除效果，故适于加工（）材料。

填空题目前金刚石刀具主要用于（）材料的精密与超精密车削加工，而对于（）材料的精密与超精密加工，则主要应用精密和超精密磨料加工。

填空题电火花加工蚀除金属材料的微观物理过程可分为（）、（）、（）和（）四个阶段。

填空题金刚石晶体的激光定向原理是利用金刚石在不同结晶方向上（）进行的。

填空题精密和超精密加工机床主轴轴承的常用形式有（）和（）。

填空题超精密机床导轨部件要求有极高的直线运动精度，不能有爬行。除要求导轨有很高的制造精度外，还要求导轨的材料具有（）、（）和（）。