实现超精密加工的关键是（），对刀具性能的要求是：（）、（）、刀刃无缺陷、与工件材料的抗粘接性好，摩擦系数低。

填空题超声波加工主要是利用（）作用来去除材料的，同时产生的液压冲击和空化现象也加速了蚀除效果，故适于加工（）材料。

填空题目前金刚石刀具主要用于（）材料的精密与超精密车削加工，而对于（）材料的精密与超精密加工，则主要应用精密和超精密磨料加工。

填空题电火花加工蚀除金属材料的微观物理过程可分为（）、（）、（）和（）四个阶段。

填空题金刚石晶体的激光定向原理是利用金刚石在不同结晶方向上（）进行的。

填空题精密和超精密加工机床主轴轴承的常用形式有（）和（）。

填空题超精密机床导轨部件要求有极高的直线运动精度，不能有爬行。除要求导轨有很高的制造精度外，还要求导轨的材料具有（）、（）和（）。

判断题等脉冲电源是指每个脉冲在介质击穿后所释放的单个脉冲能量相等。对于矩形波等脉冲电源，每个脉冲放电持续时间相同。

判断题电解加工时，串连在回路中的降压限流电阻使电能变成热能而降低电解加工的电流效率。

判断题电致伸缩微量进给装置的三大关键技术是电致伸缩传感器、微量进给装置的机械结构及其驱动电源。

判断题法拉第电解定律认为电解加工时电极上溶解或析出物质的量与通过的电量成正比，它也适用于电镀。

判断题在超精密磨削时，如工件材料为硬质合金，则需选用超硬磨料砂轮。

判断题电解加工是利用金属在电解液中阴极溶解作用去除材料的，电镀是利用阳极沉积作用进行镀覆加工的。

判断题电化学反应时，金属的电极电位越负，越易失去电子变成正离子溶解到溶液中去。

判断题电火花加工是非接触性加工（工具和工件不接触），所以加工后的工件表面无残余应力。

判断题电子束加工是利用电能使电子加速转换成动能撞击工件，又转换成热能来蚀除金属的。