激光加工设备主要包括电源、（）、（）、（）、（）、冷却系统等部分。

填空题实现超精密加工的技术支撑条件主要包括：（）、（）、（）、（）、高质量的工件材料、超稳定的加工环境条件等。

填空题电火花型腔加工的工艺方法有：（）、（）、（）、简单电极数控创成法等。

填空题电火花加工按工件和工具电极相对运动的关系可分为：电火花（）、电火花（）、电火花（）、电火花（）、电火花表面强化和刻字等类型。

填空题影响电火花加工精度的主要因素有：（）及其一致性、（）及其稳定性和（）。

填空题电火花加工型腔工具电极常用的材料有：（）、（）、（）等。

填空题实现超精密加工的关键是（），对刀具性能的要求是：（）、（）、刀刃无缺陷、与工件材料的抗粘接性好，摩擦系数低。

填空题超声波加工主要是利用（）作用来去除材料的，同时产生的液压冲击和空化现象也加速了蚀除效果，故适于加工（）材料。

填空题目前金刚石刀具主要用于（）材料的精密与超精密车削加工，而对于（）材料的精密与超精密加工，则主要应用精密和超精密磨料加工。

填空题电火花加工蚀除金属材料的微观物理过程可分为（）、（）、（）和（）四个阶段。

填空题金刚石晶体的激光定向原理是利用金刚石在不同结晶方向上（）进行的。

填空题精密和超精密加工机床主轴轴承的常用形式有（）和（）。

填空题超精密机床导轨部件要求有极高的直线运动精度，不能有爬行。除要求导轨有很高的制造精度外，还要求导轨的材料具有（）、（）和（）。

判断题等脉冲电源是指每个脉冲在介质击穿后所释放的单个脉冲能量相等。对于矩形波等脉冲电源，每个脉冲放电持续时间相同。

判断题电解加工时，串连在回路中的降压限流电阻使电能变成热能而降低电解加工的电流效率。

判断题电致伸缩微量进给装置的三大关键技术是电致伸缩传感器、微量进给装置的机械结构及其驱动电源。