简答题 什么是阻挡层金属？阻挡层材料的基本特征是什么？哪种金属常被用作阻挡层金属？

【参考答案】

阻挡层金属是淀积金属或金属塞，作用是阻止层上下的材料互相混合。
可接受的阻挡层金属的基本特征是：
①好的阻挡扩散特性；
②高电导率具有很低的欧姆接触电阻；
③与半导体和金属接触良好；
④抗电迁移
⑤膜薄和高温下稳定性好；
⑥抗腐蚀......

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