简答题 解释铝已经被选择作为微芯片互连金属的原因。

【参考答案】

（1）铝与P型硅及高浓度N型硅均能形成低欧姆接触；
（2）电阻率低；
（3）与SiO₂粘附性强，无需粘附层-----铝很容易和二氧化硅反应，加热形成氧化铝；
（4）能单独作为金属化布线，工艺简单；
（5）能用电阻丝加热蒸发，工艺简单；......

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