简答题 CVD法的过程和细节分别是什么？

【参考答案】

（1）反应气体向基片表面扩散：
（2）反应气体吸附于基片的表面，
（3）在基片表面上发生化学反应；
（4）在基片表面上产生的气相副产物脱离表面而扩散掉或被真空泵抽走，在基片表面留下不挥发的固体反应产物——薄膜。
但任何CVD所用的反应体......

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