简答题 分子外延术的优点是什么？

【参考答案】

（1）可以把要求高真空条件工作的分析装置结合到外延生长系统中去。
（2）它的生长速率可以调节得很慢，使得外延层厚度可以得到精确控制，生长表面或界面可达到原子级光滑度，因而可制备极薄的薄膜；
（3）由于吸附原子有较宽裕的表面扩散时间来“找到”最低能量位置，分......

(↓↓↓ 点击‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)