填空题基座法是既像()又像()的一种拉制单晶方法,此方法用卡具将多晶棒下端卡住,高频线圈在多晶硅棒上端产生熔区,由上方插入籽晶,将籽晶慢慢向上提起,生长出单晶。
填空题片状单晶生长法(EFG法)将用()制成的有狭缝的模具浸在熔硅中,熔硅依靠()作用,沿狭缝升到模具表面和籽晶融合,用很快的速度拉出。
填空题区熔法由于不使用坩埚,污染少,经区熔提纯后生长的()较高,()和()低。
填空题一般情况下,直拉法拉制的硅单晶电阻率大于()欧姆•厘米,质量很难控制。
填空题用直拉法制备硅单晶时,用()插入熔体表面,待与熔体熔接完成后,慢慢向上提拉完成长晶过程。