A.电离气体分子B.接受气体离子C.给电离子加速D.测试气体离子检漏仪分析管的离子源作用有（）。……

多项选择题分子泵的控制器和泵体集成化以后有哪些优点（）？

A.部品（配线和线架）可削减
B.配线整理作业可削减
C.指定配线等的管理工数部品在库数可削减
D.不只是设备侧的远程控制、也可进行本地操作

多项选择题UTM300B 泵的特点是什么（）？

A.按装方向自由
B.控制器和泵体集成化
C.高压缩比高背压
D.采用磁浮轴承

多项选择题离子溅射泵优点是什么（）？

A.可获得超、极高真空
B.安装方向自由
C.无油环境
D.无噪音无振动

多项选择题对于影响成膜的异常放电发生时，关于DC 电源性能重要性内容下列正确的选项是（）。

A.抑制异常放电
B.正常放电恢复速度
C.使用寿命
D.维修速度

多项选择题应用在真空中的各式材料包括（）。

A.靶材
B.纳米金属墨水
C.不锈钢真空室
D.玻璃观察窗