A.按装方向自由B.控制器和泵体集成化C.高压缩比高背压D.采用磁浮轴承
多项选择题离子溅射泵优点是什么（）？
A.可获得超、极高真空B.安装方向自由C.无油环境D.无噪音无振动
多项选择题对于影响成膜的异常放电发生时，关于DC 电源性能重要性内容下列正确的选项是（）。
A.抑制异常放电B.正常放电恢复速度C.使用寿命D.维修速度
