对于影响成膜的异常放电发生时，关于DC 电源性能重要性内容下列正确的选项是（）。

多项选择题应用在真空中的各式材料包括（）。

A.靶材
B.纳米金属墨水
C.不锈钢真空室
D.玻璃观察窗

多项选择题使用氦气检漏的原因是（）。

A.体积小
B.惰性气体
C.无污染
D.容易驱散

多项选择题UTM-A 系列泵，可调节转速后会有哪些好处（）？

A.可调整排气速度
B.可调节腔体真空度
C.无需流量调节阀
D.降低故障风险

多项选择题油扩散泵的优点是什么（）？

A.构造简单、故障少
B.价格低廉
C.低振动低噪音
D.可高速运转

多项选择题离子溅射泵的特点是什么（）？

A.无机械运动部分
B.无振动
C.无需再生
D.无噪音