A.刻蚀精度高B.刻蚀速度高C.运营成本低D.更环保相比Wet Etch，下列哪一项不是Dry Etch的优点……

单项选择题CVD设备中内部有Robot的设备是（）

A.Process Chamber
B.Transfer Chamber
C.DSSL
D.Scrubber

单项选择题CVD中主要进行镀膜的设备是（）

A.Process Chamber
B.Transfer Chamber
C.DSSL
D.Scrubber

单项选择题CVD中为了保持非晶硅特性，需要添加的元素是（）

A.N
B.H
C.Si
D.O

单项选择题CF的本质是在Glass上镀（）

A.液体小分子膜
B.有机高分子膜
C.金属膜
D.无极非金属膜

单项选择题CF工程中，最贵、对Pattern样子的形成起决定作用的设备是（）

A.显影机
B.曝光机
C.OVEN
D.Coater