A.Process ChamberB.Transfer ChamberC.DSSLD.ScrubberCVD设……

单项选择题CVD中主要进行镀膜的设备是（）

A.Process Chamber
B.Transfer Chamber
C.DSSL
D.Scrubber

单项选择题CVD中为了保持非晶硅特性，需要添加的元素是（）

A.N
B.H
C.Si
D.O

单项选择题CF的本质是在Glass上镀（）

A.液体小分子膜
B.有机高分子膜
C.金属膜
D.无极非金属膜

单项选择题CF工程中，最贵、对Pattern样子的形成起决定作用的设备是（）

A.显影机
B.曝光机
C.OVEN
D.Coater

单项选择题CF设备中，相当于冲洗照片过程的设备叫（）

A.清洗机
B.曝光机
C.显像机
D.Coater