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问答题

简答题 LIGA技术

【参考答案】

LIGA技术是一种由半导体光刻工艺派生出来的采用光刻方法一次生产三维空间微机械构件的方法。技术机理是由深层X射线光刻、电铸成形及塑铸成形三个工艺组成。(在用LIGA技术进行光刻过程中,一张预先制作的模板上的图形被映射到一层光刻掩膜上,掩膜中被光照部分的性质发生变化,在随后的冲洗过程中被熔解,剩余的掩...

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