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问答题

简答题 简述微型机械加工技术的关键技术

【参考答案】

微型机械加工技术是微型机械发展的关键基础技术,其包括微型机械设计技术、微细加工技术、微型机械组装和封装技术、微系统的表征和测量技术及微系统集成技术。